1.精密位移平臺用除油劑將零件基準面上的防銹油擦干凈。因被除去防銹油的基準面容易生銹，因此，可用黏度低的油漆上，再使用。
2.將精密位移平臺零件1～3的側基面靠上定位臺階側基面后，用螺釘預固定在床身和滑臺基準面上，擰緊力不要太大，使零件底面與相對的基準面緊密接合即可。
3.將調整側的精密位移平臺零件4作暫時的固定。
4.小心將保持架插入到中央附近。
5.將精密位移平臺端部擋塊安裝在導軌端部。
6.將精密位移平臺滑塊左右移動到盡頭，調整保持架到床身的中央位置。
7.把精密位移平臺表頭打在滑臺的中心和側面。
8.將精密位移平臺滑臺移至一側的盡頭，而且確認在調整螺栓正對處有滾柱后，輕輕擰緊調整螺釘。
9.將精密位移平臺滑臺移至另一側的盡頭，如上方法輕輕擰緊。
10.將精密位移平臺滑臺移至中央位置，把調整螺釘輕輕擰緊。
11.重復8-10的步驟，將精密位移平臺滑臺的間隙調到0為止。
12.參照下表給定的力矩值，按照8-10的步驟將調整螺釘固緊。
13.最后將精密位移平臺零件4固緊。跟調整螺釘的緊固步驟類似，移動滑臺，保證緊固螺栓的地方正對滾柱。
